二手 KOBELCO LTA 1000 #293591940 待售

KOBELCO LTA 1000是一種通用的晶圓測試和計量設備。它允許對芯片性能和特征大小進行詳細分析,只需一毫米精度的一小部分。該系統由集成的分析軟件包、光學計量視覺單元和高級顯微鏡組成。該軟件采用用戶友好界面，適合沒有廣泛背景知識的操作員使用。光學計量機允許使用放大/輸出立體顯微鏡技術和數字信號處理器（DSP）對詳細的三維（3D）表面進行非接觸測量。其3D分辨率高達0.25 µm，能夠對芯片特性進行高精度測量。此外，顯微鏡包含內置的圖像識別和增強的過濾能力，以提高精度。KOBELCO LTA-1000支持多種測試方法，如電氣和機械表征、物理表征和晶圓級缺陷檢查。測量程序以參數測試為基礎，以獲取工藝條件和裝置結構的信息。例如，參數測試可以提供接觸電阻、總特征大小和芯片元件的覆蓋精度等信息。特別是，該工具可以分析沈積材料的圖像質量，如介電層。此外,LTA 1000還配備了數據記錄功能,可以將測量的數據鏈接到特定部件和測試設置,以便於跟蹤。資產還包含一個熱傳遞模塊，可以測量熱擴散，這對於材料表征很有用。該模型進一步提供了運動和振動隔離，防塵蓋和安全觸摸操作設備。總體而言，LTA-1000是開發小型化部件不可或缺的工具，提供卓越的精度和精確度。它非常可靠，具有直觀的控制和數據收集功能，能夠更快、更好的晶圓產量。