二手 KOBELCO LTA-1512 #9314399 待售

KOBELCO LTA-1512是半導體和光電工業理想的晶圓測試和計量設備。它將各種測量系統結合成一個高精度、快速吞吐量和直觀軟件的平臺，使用戶能夠在各種復雜程度上快速高效地測量基板。該系統基於自動測量工具（AMT）,它控制和管理其子系統,如光學系統和力學。光學系統包括圖像傳感器和能夠測量晶圓光強度的光機械裝置。光學機械裝置還可以測量晶圓表面的電阻率。該單元的力學包括各種可調節的Z軸級和用於固定和操縱基板的模具。控制機使用圖形用戶界面（GUI）以及基於Windows的軟件，使用戶可以輕松調整所需測量的參數並可視化結果。LTA-1512配備了幾種高精度、高吞吐量的測量系統。這些系統包括一個可變角度橢圓儀（VAE）、反射儀、散射儀和幹涉儀，可以測量像折射率、反射率、散射、透射率和幹涉這樣的光學性質。為測量晶片表面的電阻率，刀具采用機械和電接觸相結合的方法。此外,KOBELCO LTA-1512還具有3D光學輪廓儀（OP）。使用此資產，用戶可以測量晶片的各種特性，如步高、劃線和空隙。LTA-1512提供了一種創新和高效的方法來測試晶片具有高精度和吞吐量。憑借其易於使用的GUI和軟件,用戶可以輕松調整參數並可視化結果。其先進的光機械裝置、高精度的測量系統，以及機電接觸法相結合，讓使用者即使是最複雜的晶片也能快速準確地測試。該模型非常適合半導體和光電行業，提供可靠、經濟高效的測試，提高精度和吞吐量。