二手 KOCKS 4D Eagle #293605084 待售

KOCKS 4D Eagle是一種晶圓測試和計量設備，使制造商能夠以無與倫比的精確度表征半導體晶圓的電氣和物理特性。該系統旨在測量和分析難以用其他測試方法捕獲的各種屬性。它結合掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、電分析、電化學分析等技術，測量尺寸、表面地形、電阻率、柵極泄漏電流、柵極電荷、電荷對電壓、移動性、摻雜濃度、陷阱密度等特性。4D Eagle還提供了熱點探測能力，可以定位造成缺陷的特征，準確分析周圍區域材料的特征。該單元基於雙光束剖面儀，可高精度測量地形特征。這樣就可以研究晶圓表面的大小特征。此外，它還能精確測量材料的摻雜濃度。利用這些信息,可以使用適當的過程來調整曲面參數,以最大限度地提高設備性能。KOCKS 4D Eagle還包含一個先進的電化學分析儀，可以測量通過材料的電流以表征其電性能。這臺機器采用原子力顯微鏡來捕捉納米級材料的物理參數。它還配備了掃描電子顯微鏡來分析材料的表面地形。最後，該工具還包含一個集成缺陷審查資產，可以快速檢測缺陷並識別其特征。這種審查模式允許調查微小缺陷，並查明其原因和采取行動解決這些缺陷。所有這些特性使4D Eagle成為目前最完整、能力最強的晶圓測試和計量系統之一。