二手 KOKUSAI VR-70 #9095916 待售

KOKUSAI VR-70是利用先進成像和光譜能力的晶圓測試和計量設備。它采用高通量、超高分辨率多角度光柵光譜儀，測量厚度、折射率、表面粗糙度、光學性能、薄膜應力等工藝參數。該系統還提供高精度的非接觸式光學顯微鏡，用於檢查晶圓上的缺陷或顆粒汙染。為了測試薄膜厚度，VR-70采用了獨特的基板級，具有高度精確的XYZ電動級，能夠快速、準確和精確地定位晶片。該單元還具有先進的自動掃描功能，用於晶圓表面與光譜儀光束和寬範圍掃描區域的自動對準。自動掃描功能能夠從300mm-500mm晶圓進行掃描,x方向掃描範圍可達5,000mm。此外，KOKUSAI VR-70晶片測試計量機采用高質量的光學器件設計，具有優異的光譜分辨率、優異的信噪比和優異的UV-VIS-NIR光學性能。該工具還有一個獨特的軟件包，可用於計算折射率、薄膜厚度和光學性質等層參數。這個軟件包還有一套預先校準的算法，以節省時間並確保可重復性。總體而言，VR-70是一種先進的晶圓測試和計量資產，能夠快速準確地表征各種晶圓特性。它是晶圓測試和計量的可靠、經濟高效的解決方案。它能夠提供關於各種晶圓基板和工藝特性的詳細數據。通過提供用戶友好的界面，它可以輕松操作，並幫助用戶做出更明智的決策。