二手 KOSAKA LAB ET 4000 #9238800 待售
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ID: 9238800
優質的: 2018
3D Surface roughness analyzing system
Appropriate for measurement:
Micro figure
Step height
Roughness of FPD
Wafers
Hard disks
Other nano-order application
Sample size: 210 mm × 210 mm to 300 mm × 400 mm (Maximum)
Repeatability: 1 σ within 0.5 nm
Measuring range:
Z: 100 μm
X: 100 mm
Measuring force: 0.5 μN to 500 μN
2018 vintage.
KOSAKA LAB ET 4000是一種高精度晶圓測試和計量設備,能夠測量各種參數,具有高精度和重復性。利用其先進的掃描技術,它可以準確測量關鍵尺寸、各種拓撲特征以及微元件上的其他關鍵尺寸。ET 4000獨特的專利設計是基於光學和X射線顯微鏡的組合,包括一個自動轉臺系統。此單元允許晶片自動移動,以測量可能存在的全部特征。此外,它能夠測量各種幾何特征,如步高、線寬和各種曲面特征,使其成為復雜晶圓測量的理想工具。KOSAKA LAB ET 4000以嚴密核心控制和優化的機器實現高精度測量。該工具除了具有伺服電機控制的舞臺運動的精確運動資產外,還包括頂級計量軟件包。舞臺運動最大限度地提高了準確性和可重復性,同時最大限度地減少了摩擦和容易出錯的平移。除了軟件和運動模型外,ET 4000還包括一個集成且高度精確的光學圖像分析設備。該光學系統可快速準確地測量關鍵尺寸和其他關鍵特征。它執行基於各種晶圓尺寸的自動校準,使單元達到更高的精度和重復性。最後,KOSAKA LAB ET 4000還包括用於測量拓撲信息的高精度數字圖像分析機。此工具可快速分析曲面特征、3D數據和其他3D-related參數。此資產包括高分辨率數據采集和視場控制,能夠準確測量復雜的特征和曲面特征,並快速為工程師提供所需的結果。ET 4000是晶圓測試和計量的理想工具。利用其精確的運動、圖像分析和數字圖像分析,在短時間內對各種晶圓特征進行精確、可重復的測量。其廣泛的功能集使KOSAKA LAB ET 4000成為工程專業人員的寶貴工具,他們需要快速評估復雜的微元件結構。
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