二手 KYOWA PCD-300B #9259529 待售

KYOWA PCD-300B
ID: 9259529
Resistivity measurement system.
KYOWA PCD-300B是一種多功能晶圓測試和計量設備,提供最大程度的準確性、靈活性、吞吐量和性能。它具有專用的高分辨率光學顯微鏡和自動對焦系統,可快速檢查晶片,可重復精度為1 μ米或更高。PCD-300B為各種晶圓測試儀提供高達500 μ米的基板探測。此外,它還具有強大的視覺單元,可以檢測一般缺陷和細微缺陷。KYOWA PCD-300B配備了先進的晶圓操控機,可以處理面積最大300 mm x 300 mm的相當大的柔性基板。其快速、精確的運動使晶片能夠高效加載、抓握和定位。該工具還支持廣泛的晶圓載體,如盒式磁帶、FOUP和MAP。PCD-300B提供了一個強大的計量資產,旨在精確測量薄晶圓。它配備了激光幹涉顯微鏡,允許模型測量平面,絕對精度97.5nm。它還能夠測量前向和後向淺溝隔離結構。該設備還配備了幹涉儀,以納米精度精確測量晶圓上的土地和溝槽形狀。此外,KYOWA PCD-300B提供了一個廣泛的測量配方庫,工程師可以快速地將其集成到他們的過程中。經過工藝優化的配方通過減少測試和計量所需的總時間,確保精確測量復雜的晶圓特性。這些配方與領先的fab軟件包兼容,並且可以通過LAN連接快速輕松地進行部署。總之,PCD-300B是一個先進、通用的晶圓測試和計量系統,旨在提供最高水平的準確性、靈活性和性能。它配備了強大的計量單元、專用的光學顯微鏡以及能夠處理多種基材的晶圓操縱機。此外,該工具還設計了一個預定義的流程優化配方庫,並與領先的fab軟件包兼容。
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