二手 LAKESHORE 7507 #9410569 待售
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LAKESHORE 7507是一種晶圓測試和計量設備，使用集成的傳感器、傳感器和電子設備來精確測量和控制半導體晶圓的測試。該系統對尺寸不超過6英寸的晶片進行環境控制測試。該裝置具有光學系統和兩個集成的位置感應檢測器（PSD）,可實現晶片的自動對準和配準。這樣可以確保晶片對晶片的準確性和可重復性。光學系統還提供激光微米檢查復雜表面輪廓的能力。該機配備了可以測量和控制XYZ位移的運動控制系統。這允許自動晶圓傳輸、映射和索引,以及晶圓到晶圓和過程到過程的可重復性。7507提供熱電加熱器和溫度傳感器的溫度控制功能,以確保過程的準確性和穩定性。這種溫度控制和測試環境的控制對於確保測量結果的準確性至關重要。該工具還配備了偏置電源、放大器和A/D轉換器，以便能夠進行晶圓厚度測量、平整度測量和檢測結構缺陷或特征。內部數據存儲和VME總線接口使數據傳輸和與其他系統集成具有靈活性。LAKESHORE 7507是晶圓測試和計量的可靠、準確和通用的資產。利用一套集成的硬件和軟件技術,該模型能夠同時測試多個參數,確保測量可重復進行,並可用於過程開發和生產。
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