二手 LEHIGHTON 1500-RS #293663340 待售

ID: 293663340
Non-contact measurement system.
LEHIGHTON 1500-RS是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在提供對薄膜、基板和其他半導體材料的準確和可靠的測量。該系統能夠高精度地測量厚度、表面粗糙度、反射率和其他電性能。1500-RS采用最先進的激光幹涉測量技術,是測量薄膜和基板到亞微米分辨率的強大工具。LEHIGHTON 1500-RS使用非接觸式光學計量單元,這意味著測試不需要晶圓/材料與探針之間的接口。這樣就不需要在晶圓和探針之間形成密封,這對於常規的接觸計量是至關重要的。因此,這臺機器可以在各種條件下測量薄膜和基板,例如在旋轉基板上或在存在無法控制的汙染物的情況下。該工具還與廣泛的底物材料兼容,包括多晶矽、氮化矽、多晶氧化物、移植物、砷化氙和III-V化合物。此外,1500-RS能夠測量低至0.1nm的薄膜厚度,使其適用於測量亞微米薄膜和表面。該資產還進行了優化,以測試高反射率的非金屬表面以及重紋理和圖案化材料。LEHIGHTON 1500-RS型號由超快速控制設備提供動力,能夠以速度和精度測量各種參數。它還具有直觀的用戶界面,使設置和編程復雜的測量序列變得容易。集成分析軟件使得快速分析和解釋結果成為可能,這些結果可以可視化為圖形、直方圖和其他數據表示形式。1500-RS是一個功能強大、可靠的晶圓測試和計量系統,適用於評估半導體器件薄基板質量、測量表面粗糙度、評估電子薄膜成分等多種應用。此單元保證提供卓越的性能和準確性,能夠快速、精確地測試薄膜和表面。
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