二手 MDC Duo Chuck #9171324 待售

MDC Duo Chuck是一種晶圓測試和計量設備，設計用於對多個參數同時進行高精度測量，包括厚度、平坦度、弓形、螺距、位置對準等參數。該系統包括低溫卡盤、支持卡盤的堅固機箱,以及在測試期間提供卡盤RPM控制和卡盤運動精確控制的控制器。低溫卡盤設計用於在測試期間保持溫度遠低於晶片的最高工作溫度,確保精確、可重復的測量。Duo Chuck由幾層和組件組成。在底層是適配器板,它將卡盤組件連接到機器人處理單元。第二層是超低溫微電子卡盤，內含加熱的底板和溫度控制機，用於精確的溫度調節。第三層是提供環境隔離和對準的卡盤外殼，第四層是提供溫度控制、卡盤驅動功率和卡盤定位控制的環形齒輪電機。此外，MDC Duo Chuck具有精密工裝和非接觸式超聲波技術。精密模具的設計目的是提供高精度的測量，提高分辨率和結果的可重復性。非接觸式超聲波技術允許晶片在測試過程中精確精確地對準卡盤，使晶片能夠來回移動（俯仰角）和上下移動（弓角），而不會對測量產生影響。Duo Chuck工具還利用先進的自清潔和校準功能來確保測量的準確性和可重復性。該資產包括一個內置的自我校準程序,它對卡盤進行定期的完整性檢查,以及一個智能的自我清潔引擎,該引擎可主動監控其環境並進行深度清潔,而無需人工幹預。這些特性共同使晶圓測試和計量獲得最準確可靠的結果。