二手 MDC SEN-576 #9104438 待售

MDC SEN-576晶圓測試和計量設備是一個高精度的計量平臺，旨在進行高級晶圓測試和計量。它將6點探針、SEM圖像分析、X射線衍射分析等幾種專門的計量技術結合在一個儀器中。SEN-576由一個多室系統組成,該系統的主要腔室包含一個機械手、一個掃描儀和一個舞臺,另外還有三個腔室,用於安裝一個電氣測試機構、一個光學字符識別（OCR）單元和一個數據收集機器。主室的機械手是機械手，設計目的是進行精確和高效的樣品放置，從而最大限度地減少在測試過程中對晶片樣品造成的任何損害。集成到工具中的掃描儀也是機器人的，可以用來對具有精確重復性的不同晶圓區域進行成像。主室的級是X和Y方向都具有高精度和加速度能力的機動單元，可以捕獲晶圓樣品的精確坐標和各種測量的可重復性。集成到MDC SEN-576第二腔的電氣測試資產由幾個探頭和電氣測量儀器組成。該型號配備了6點探針，這是一種特定的接觸計量工具。它可用於測量各種晶圓樣品上的電氣特性，如電阻、電流泄漏和介電擊穿。第三室的OCR設備用於算法識別。最後，第四室擁有一個數據收集和控制系統，該系統具有數字信號處理器和特殊軟件。該單元允許實時數據采集和分析,從而可以自動測試晶圓樣品。綜上所述，SEN-576晶片測試計量機是一種多室平臺，用於測量晶片的電氣特性、光學特性和形狀。該平臺具有機械手、掃描儀和主室舞臺、6點探針、基於數字信號處理器（DSP）的數據收集工具和特殊軟件、OCR資產以及其他組件。MDC SEN-576的模塊化和機器人結構確保以可靠和可重復的方式對半導體晶片進行先進和準確的測試。