二手 MITUTOYO SJ-210 #9245762 待售

MITUTOYO SJ-210晶片測試和計量設備旨在為半導體器件開發的所有階段提供精確的計量測量。它可用於在加工工藝中進行蝕刻或沈積前後測量晶片，以及用於最終工藝檢驗和質量控制。該系統的設計工作範圍的晶圓尺寸從25毫米到200毫米。它有一個非接觸式視覺單元，具有多點掃描功能，以提高準確性和可重復性。SJ-210使用兩軸級,能夠支撐尺寸可達589mm的晶片,移動範圍為X=125mm, Y=300 mm。該機具有集成的用於樣品處理的高性能6軸機器人，可以同時容納標準和定制的處理夾具。MITUTOYO SJ-210工具還具有高分辨率CCD相機和4軸手動階段，用於定位和微調測量精度。資產附帶了一套測量工具,包括數字成像、表面分析、非接觸測量和模式識別。對於非接觸測量，模型使用激光幹涉儀進行位移、振動和加速度測量。它還包括各種用於變形測量的測量探針。SJ-210能夠檢測和繪制梯形、矩形、弧形、圓圈和其他形狀的圖樣,以幫助工程師和科學家相應地測量和分析邊緣或表面輪廓。此外,設備還可以測量晶片的多個特性,如整體尺寸、厚度、表面粗糙度、步長和平坦度。MITUTOYO SJ-210晶片測試和計量系統為用戶提供了進行計量和工藝檢查的高效、通用的工具。它的一套測量工具使工程師和科學家能夠對各種晶圓尺寸進行快速和準確的測量，從而全面洞察晶圓處理。