二手 MITUTOYO SV-C500 #162851 待售

MITUTOYO SV-C500晶片測試和計量設備是一個綜合性平臺,旨在實現對復雜設備的關鍵尺寸和均勻性的粒度控制。該平臺為成功生產先進技術節點（如3D-NAND、DRAM和FINFET）提供關鍵參數的過程中優化。該系統具有多種特性，能夠實現高吞吐量和靈活的過程控制，以滿足現代設備生產的需求。SV-C500利用高速線性驅動級和高性能5軸晶圓級。這種先進的機構允許精確控制晶圓運動，X/Y方向的精確度為4.5 µm，Z方向的精確度為4.4 µm。開放式平臺設備還實現了優化的工作流程,允許在同一單元內同時采用多種監控和測量方法。這包括過程調整、計量、分析操作和質量控制。MITUTOYO SV-C500除了其先進的處理機制外，還配備了各種強大的計量工具。這些工具利用機器的空氣軸承組件來測量先進半導體器件的靜態和動態參數。該工具提供各種自動和手動探針,包括掃描電子顯微鏡（SEM）和原子力顯微鏡（AFM）功能。這些工具提供高分辨率成像和測量,SEM的分辨率高達0.5nm, AFM的分辨率高達1nm。SV-C500還能夠進行各種其他測量和分析。其算法能夠進行圖像識別、芯片尺寸分析和3D測量。該資產龐大的測量技術庫還包括橢圓偏振和光致發光等幾種無損技術，以提供高精度分析。總體而言，MITUTOYO SV-C500晶圓測試和計量模型是一種功能強大且用途廣泛的先進半導體制造解決方案。它的一套全面的功能和工具允許對復雜設備的關鍵尺寸和均勻性參數進行全面的監測和測量。該設備具有高速直線傳動級、空氣軸承組裝和各種計量工具,可提供高精度的結果,這對於成功生產現代技術節點至關重要。