二手 MTI Proforma 300 #9269084 待售

ID: 9269084
Non-contact thickness measurement system Approximate diameter granite fixture, 8" To hold small / Large substrates.
MTI Proforma 300是一種領先的晶圓測試和計量設備,設計用於精確測量和檢查晶圓。該系統采用300 mm模塊化設計,易於升級,確保它與晶圓測試的最新發展保持同步。Proforma 300單元基於專利的非接觸式機電技術(標稱行程0.1 µm),用於檢測表面缺陷和地形。該機器包括一個數字圖像捕捉相機,掃描頭,視頻硬件和軟件。MTI Proforma 300使用6軸級提供200 mm和200 mm高度的行進範圍,以實現對任何晶圓的精確測量。Proforma 300的缺陷檢測工具使用一組激光器來檢測微米大小的缺陷、表面粗糙度、晶片放置的不規則性以及晶片結構中的任何其他非均勻性。通過激光和紅外成像相結合,可以檢測和測量從0.1µm到500 µm的各種尺寸的缺陷。集成軟件存儲和處理缺陷數據以進行分析和評估。MTI Proforma 300還具有高級3D映射模型。該設備提供晶圓表面的高分辨率(Z-probe)3D圖形表示,允許用戶快速識別潛在缺陷、結構不規則性和其他非均勻性。該系統可捕獲多達80萬個測量點進行詳細分析。此外,Proforma 300單元具有先進的計量能力,提供線寬、臨界尺寸、間距和中線偏差等晶圓參數的高精度測量。機器還支持各種測試環境中的操作,包括基準測試、清潔室和SEMI操作員控制臺檢查。總體而言,MTI Proforma 300為各行業提供全面的晶圓測試和計量。該工具非常適合用於發現晶片中的缺陷、結構不規則和其他不均勻現象,從而使用戶能夠快速識別和解決任何問題。
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