二手 MURAKAMI GM-26D #293616276 待售

MURAKAMI GM-26D
ID: 293616276
Measurement system.
MURAKAMI GM-26D是一種先進的晶圓測試和計量設備,設計用於晶圓光刻的生產性測量。GM-26D具有業界領先的精確度、可重復性和分辨率,一直是各種類型的光掩模制造商、IC供應商和半導體制造商的首選系統。MURAKAMI GM-26D包含一系列高精度光學傳感器,能夠在納米級進行精確測量。它可以以無與倫比的速度和精度測量臨界尺寸(CD)、線緣粗糙度(LER)、圖案放置等特性。此外,它還能夠自動化整個測量過程,從樣品加載到數據采集和分析。該單元具有高度直觀和易於使用的特點,具有用戶友好的界面和直觀的菜單。自動晶圓轉換機能夠以較快的通信速度實現有效的晶圓加載、卸載和位置控制。其全自動分析工具可以快速生成準確的結果,然後可用於優化過程參數。GM-26D也進行了優化,以測量各種非光刻參數。它具有高性能的粘合劑分配站和高強度的紫外線光源,能夠測量介電膜、金屬和其他晶圓材料的特性。此外,其先進的粒子檢測功能擴展了晶圓表面缺陷檢測的能力。所有這些功能使MURAKAMI GM-26D能夠提供無與倫比的生產過程洞察力,確保所有關鍵測量都是準確和可重復的。因此,這一資產為半導體行業的質量保證提供了終極工具。GM-26D具有高速度和高精度,是晶圓測試和計量應用的理想選擇。
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