二手 NANOMETRICS Atlas II+ #9242231 待售
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ID: 9242231
晶圓大小: 12"
優質的: 2016
System, 12"
(3) Load ports
(3) Modules
FFU System
EFEM Drive system
Multi-stage filtration
EFEM Transmission system
Internal robot
Stage slide system
Optical system (SE/SR)
Magnetic suspension shock absorption system
Temperature control system
Data processor
Signal interface
Data interface
Power interface
Ventilation and vacuum tests
Data analysis system
Workstation
Debugging
Wafer transfer system
Loadport
PDU Power distribution system
External power supply
Manipulator and controller
Temperature control system
Internal temperature fluctuation: 0.1°
Power supply: 220 VAC
Vacuum: 650 mm Hg
Compressed air: 100 PSI
2016 vintage.
NANOMETRICS Atlas II+晶片測試和計量設備是一種精確、可靠和高效的工具，用於表征半導體工業中晶片的電氣和物理特性。該系統提供了廣泛的集成模塊，用於執行不同類型的分析，包括物理計量、電氣測試、邏輯和參數測試、電氣缺陷分析和晶圓級物理計量。該單元圍繞一個多軸電機驅動級構建，該級精確控制晶圓處理。這個階段能夠精確的運動控制和定位晶圓映射，缺陷定位和晶粒/表面分析。舞臺也堅固穩定，讓機器在各種潔凈室條件下工作。此外，該工具有兩個獨立的光學系統，以提高分辨率和測量精度。Atlas II+靈活的檢查特點包括電測試參數和溫度、電壓、電流、電荷、電容、電感、電阻等測量。該資產還提供了用於解釋測量數據的強大分析工具，這有助於加快物理計量過程。對於高分辨率成像，模型可以使用多種光學檢查模式，如明場和暗場成像、相位對比度成像、掃描電子顯微鏡。該設備與眾多計量晶片兼容，能夠根據需要修改其參數，以適應材料、加工條件或晶片特性的任何變化。此外，NANOMETRICS Atlas II+允許用戶定制所需的分析，所有收集的數據都可以存儲在數據庫中，以便於檢索和分析。因此，Atlas II+是一個功能強大和高效的計量系統，為用戶提供在晶圓上進行電氣、物理和邏輯測試的廣泛能力。其高精度，結合靈活的測量、直觀的操作和數據庫能力，使其成為半導體行業不可或缺的工具。
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