二手 NANOMETRICS Atlas #9221857 待售
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已售出
ID: 9221857
晶圓大小: 6"
優質的: 2006
OCD Metrology system, 6"
ATLAS-M Analysis platform
P/N: 1000-01046 Rev B
Single ASYST load port
Tool upgraded
With particle contamination cover in 2016
Parts non-functional:
Polarizer
Torret: 4x - 15x
2006 vintage.
NANOMETRICS Atlas是一種自動化晶圓測試和計量設備,主要設計用於半導體制造和研究設施。該系統能夠測量各種尺寸的晶片的各種參數和特征,並具有準確性和可重復性。該單元具有高分辨率CCD檢測器,可以對各種斜坡、蝕刻坑、地形、晶粒結構以及其他晶片特征進行高度精確的測量。機器的核心是Atlas Metrology Station。這是一個模塊化工具,由焦平面陣列成像資產(FPA)、一對狹縫投影儀成像系統、反射率掃描儀、激光幹涉儀和光學剖面儀組成。這些組件使NANOMETRICS Atlas能夠以0.1納米的極細分辨率為直徑小至500微米的特征提供前所未有的精度。該模型具有易於使用的用戶界面,能夠在多個晶片上同時進行測量。用戶可以選擇要在每個晶片上進行的測量類型,其自動要求可以選擇正確的參數組合進行精確測量。Atlas可以在其安全、聯網的設備上存儲數據和結果,並且可以在制造過程中直接與其他工具進行交互。為了進一步分析,NANOMETRICS Atlas包括用於生成各種圖表和統計報告的專門軟件,以及一個綜合圖形繪圖功能。它還能夠與數據分析儀或統計軟件等其他網絡工具集成,以進一步提高其效用。Atlas是一個功能強大的系統,旨在滿足最苛刻的半導體制造和研究設施的需求。它結合了精確測量功能、網絡連接和直觀的用戶界面,使其成為任何需要高性能計量的實驗室的理想設備。
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