二手 NANOMETRICS Atlas #9244873 待售

NANOMETRICS Atlas是一種晶圓測試和計量設備，為尺寸和地形測量提供增強的吞吐量。該系統建立在非接觸式的結構定位技術之上，支持各種樣品形狀和材料。該裝置采用多種傳感器技術，包括電容傳感器、感應傳感器和光學傳感器。這些技術的組合被用於在幾秒鐘內以納米（nm）精度獲得精確的3D表面測量。自動化的非接觸式樣品處理工具可以快速設置和重復測量,從而提高了機器的精度。此資產還提供了額外的好處,例如高通量和測量結果,這些結果與實際制造過程相關,無論是幹蝕刻還是濕蝕刻、陰影蒙版或光刻。先進的邊緣檢測算法能夠檢測和數字顯示三維形狀特征,甚至沿著曲面也能實現準確的結果。Atlas平臺用途廣泛,可以配置為滿足各種各樣的要求。它配有步進電機，用於穿越級，電動Z軸，用於晶圓/樣品定位，可調節焦距，用戶定義的成像參數，以及其他可定制的元件。此外,該模型還包括一個快速級橫向設備,以提高樣品速度.流程跟蹤分析（PTA）可用於監控和優化生產流程。PTA能夠在短時間內或長時間內自動測量和分析尺寸和幾何測量以及圖案。此功能是過程監控和過程產量提高的寶貴資源。總體而言，NANOMETRICS Atlas是一個有效的晶圓測試和計量系統，可以幫助研究人員和制造商取得精確的結果。多傳感器、自動化非接觸式樣品處理、快速階梯穿越和先進的邊緣檢測算法的結合，使這一單元能夠提供準確高效的晶圓測試體驗。此外,PTA還有助於監控和優化生產過程,幫助提高晶圓的整體質量和產量。