二手 NANOMETRICS Atlas #9244874 待售
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單擊可縮放
NANOMETRICS Atlas是晶圓測試和計量的最先進的設備。隨著器件幾何圖形的縮放，對不斷提高的測量精度和可重復性的需求帶來了對自動晶圓測試和計量系統的需求。Atlas是一個自動化的計量系統,它可以精確測量晶圓上的電氣參數。它包括若幹高性能激光器、傳感器和控制系統，以及一個同時提供多種結果的數據采集單元。該機器能夠測量晶片上的各種參數，如接觸電阻、高度剖面、蝕刻深度、設備布線等。該工具使用基於幹涉儀技術的激光振動計來測量晶片的高度輪廓。該激光器用於感應晶片的表面輪廓，並對數據進行實時采集和分析，還能夠進行電阻隔離和接觸電阻等多種二次計量操作。該模型還融入了自動缺陷檢測，可以識別和分類開路、短路、死路等不同類型的缺陷。設備還配備了增強的缺陷標記軟件，該軟件可以標記和識別晶圓上容易出現缺陷的區域，以幫助指導糾正這些缺陷的行動。除了自動化功能外，NANOMETRICS Atlas還提供了手動調整測量參數的能力，以優化測量結果。該系統允許一系列參數如光斑大小、激光功率、曝光持續時間等進行手動設置，還提供了曲線擬合、統計過程控制（SPC）等高級數據分析和控制功能。總體而言，Atlas是一個強大而全面的晶片測試和計量裝置，旨在提供快速和準確的測量，以確保生產優質晶片。這臺機器具有多種自動化和手動功能，是任何現代晶圓制造過程中必不可少的工具。
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