二手 NANOMETRICS Atlas #9244875 待售
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NANOMETRICS Atlas是為半導體器件制造商和材料分析實驗室開發的線路晶圓測試和計量設備的頂端。Atlas設計用於測量和驗證晶圓產品的線幾何形狀、表面拓撲結構和材料屬性。該儀器利用先進的成像技術和掃描電子顯微鏡（SEM）來生成高精度的三維圖像圖和其他基於成像的數據形式。NANOMETRICS Atlas能夠對各種晶圓產品進行精確的計量和晶圓測試測量。通過捕獲晶片特征的詳細圖像,Atlas可以驗證和分析小於50 nm OPC的特征、線寬和間距、Vdd/Vss線光學成像、金屬厚度和表面粗糙度。該系統的其他特點是能夠測量電阻、電容和介電常數等電性能。NANOMETRICS Atlas能夠一次處理多達24個晶圓,任何陣列尺寸可達976 cm2,最小線寬可降至0.2µm。它配備了集成的自動化晶圓映射單元和復雜的缺陷分析軟件,以確保最高級別的測量精度和特征檢測。機器的用戶友好界面也讓用戶對圖像捕捉和樣本處理設置有更大的控制。Atlas為高精度晶圓測試和計量提供了一個全面、經濟高效的解決方案。NANOMETRICS Atlas能夠捕獲各種晶圓產品的詳細圖像,從而確保對半導體行業的關鍵應用進行準確可靠的測量。
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