二手 NANOMETRICS Atlas #9249580 待售

NANOMETRICS Atlas
ID: 9249580
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
OCD Metrology system, 12" 2009 vintage.
NANOMETRICS Atlas是一種自動化的高級晶圓測試和計量設備,用於高精度電氣測量。它提供了對電氣參數和晶圓表面特性的高度精確的測量。該系統為包括半導體、光伏(PV)和MEMS在內的廣泛行業的晶圓提供電氣測量和表面分析。該單元設有一個集成的樣品管理機器,用於自動處理晶片和樣品裝卸。它還具有一個可編程溫度控制器,可在所有溫度範圍內進行可靠的測量,溫度範圍可達1,500 °C。該工具允許進行廣泛的電氣測量,包括:電阻、電流、電壓、電容、電感、電荷和功率。它還具有基於設備特性的自動參數檢測和優化功能。該資產還包括用於在制造過程中監測晶圓參數的內置測量事件檢測模型。阿特拉斯還具有表面表征能力,如光學顯微鏡、原子力顯微鏡(AFM)和掃描電子顯微鏡(SEM)。Toscanner,一種集成掃描電子顯微鏡,可用於獲取晶圓表面和地下的詳細圖像。這有助於識別可能對設備性能產生不利影響的汙染物、缺陷和其他異常。該設備的設計具有靈活性和準確性。它包括一個全面的控制面板,允許用戶為精確測量調整參數和設置。它還具有標準測試和計量應用程序庫以及用戶可編程應用程序庫。這允許用戶自定義系統以滿足其特定要求。NANOMETRICS Atlas單元設計用於提供對晶圓電性能和表面特性的高度精確的測量。用於半導體、光伏、MEMS等多種行業,用於研究、測試、制造用途。其集成的樣品處理機、綜合控制面板以及標準和用戶可編程應用程序庫,使其成為計量和晶圓測試的靈活而有用的工具。
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