二手 NANOMETRICS Atlas #9256431 待售
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NANOMETRICS Atlas是半導體工業使用的最先進的晶圓測試和計量設備，允許對具有220nm以下和高達28 µm特征的結構進行測試和檢查。該系統旨在對芯片進行即時重新表征，提供有關設備和工藝性能的精確數據，並了解工藝過程中潛在的物理現象。Atlas將電氣測試、計量和成像功能結合到一個自動化、優化的軟件包中的單一平臺中。其高性能和可靠性使得NANOMETRICS Atlas成為性能臨界晶圓測試和計量應用的理想選擇。Atlas可以對晶圓樣品進行一系列測試，從無損電阻測量到參數化晶圓級測試，從柵極延遲測量到自動離子束銑削。其集成光學顯微鏡和電荷耦合器件（CCD）相機單元允許對低至22納米的結構進行高分辨率成像和顯微照相，而其高精度晶片級則允許進行可重復和精確的性能測試。集成掃描電子顯微鏡（SEM）允許進行表面成像、厚度測量和臨界尺寸（CD）測量,以及地形和粗糙度測量。SEM可以與光學顯微鏡結合使用，進行並排成像和配準，從而實現特征和結構的復雜表征。NANOMETRICS Atlas先進的自動化控制軟件可在測試和計量過程中進行精確的壓力控制和參數優化，而可靠的數據采集則可精確測量設備和電氣參數。此外,該機器還具備工業就緒的技術標準,非常適合集成到清潔環境中。總之，Atlas是半導體行業的一個寶貴工具，旨在為一系列晶圓測試和計量應用提供精確和可靠的數據。它具有高精度和無與倫比的性能,確保它仍然是晶圓測試和工藝優化的可靠工具。
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