二手 NANOMETRICS Atlas #9270884 待售

NANOMETRICS Atlas是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體材料和器件的測量和表征。它由一個最先進的軟件平臺、亞納米掃描顯微鏡以及各種精密的測量和表征組件組成。該軟件為用戶提供了一個易於使用的GUI（圖形用戶界面）,用於控制系統參數、瀏覽正在檢查的示例、開發工作流和可視化收集的數據。該平臺使用戶能夠以任意分辨率測量從地形到電氣屬性的任何內容,包括2D和3D。它支持一系列標準分析工具,例如圖像處理、線路分析和高級特征識別,使其能夠執行各種測量和特征。阿特拉斯使用的顯微鏡掃描範圍高達150毫米，橫向分辨率0.11 µm，精度高達8 nm。它采用了獲得專利的E-SEM（能量增強掃描電子顯微鏡）設計，允許用戶同時捕捉地形和電氣圖像。針對高精度掃描和特征識別對顯微鏡進行了優化.NANOMETRICS Atlas可以表征不同加工階段的多種材料。它考慮了可能影響結果的各種參數，例如材料的電導率、電容、泄漏電流和其他參數。它還提供了包括光學應力傳感器和掃描橢圓偏振探針在內的一整套傳感器和探針。所有收集到的測量和特征都存儲在單元上，可以以各種格式顯示，包括表、圖和直方圖。此外，機器可以顯示更高級的測量，如地形和電氣圖像，都2D和3D。總體而言，Atlas系統提供了一個易於使用的平臺，用於測量和表征不同加工階段的各種半導體材料。它利用其先進的軟件、先進的掃描顯微鏡以及廣泛的傳感器和探針，使用戶能夠收集必要的信息進行進一步的分析。然後可以以清晰的圖形格式顯示收集的數據,幫助用戶深入了解其組件設計。