二手 NANOMETRICS Atlas #9271275 待售

NANOMETRICS Atlas是一種用於半導體工業的高精度晶圓測試和計量設備。它旨在提供最高級別的準確性和可重復性,使用戶能夠測量和控制極為嚴格的公差特性。Atlas是一個非接觸式全場掃描系統，能夠測量半導體晶片的臨界尺寸以及薄膜厚度和電阻率等其他廣域特征。NANOMETRICS Atlas利用了多種測量技術，包括白光幹涉測量（WLI）和視頻孔徑顯微鏡（VAM）。WLI提供寬視野和亞納米垂直分辨率的成像,而VAM具有卓越的橫向和垂直分辨率,可用於解析小規模特征,如晶體管和束帶。這些技術使Atlas能夠從最復雜的表面快速獲取測量結果。NANOMETRICS Atlas還提供了非接觸式和超高分辨率計量的獨特組合，即使在最具挑戰性的結構上也能測量小至1 μ m的特征。通過支持各種測量配置,該單元可用於測量平面和高度彎曲的曲面,如3D輪廓和曲面粗糙度。此外，Atlas提供8英寸或12英寸晶圓的檢查能力以及其標準的10英寸晶圓支持的測量。除了先進的測量功能外,NANOMETRICS Atlas還具有一套強大的技術,可確保測試質量和可重復性。例如,它的自動對齊技術通過在測試之前自動對齊晶片來節省時間。它還有一個用於快速預對準的內置視覺機器，以及一個用於雙面測量的全自動樣本註冊工具。Atlas是精密應用的理想選擇，其緊湊的設計和高精度使其適合實驗室和生產環境。NANOMETRICS Atlas通過在各種條件下提供可靠、一致的測量，幫助用戶保持最高的質量保證標準。