二手 NANOMETRICS Atlas #9271278 待售

NANOMETRICS Atlas
ID: 9271278
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
OCD Metrology system, 12" 2006 vintage.
NANOMETRICS Atlas是一種先進的晶圓測試和計量設備,利用獲得專利的二維共聚焦掃描技術來捕獲整個晶圓表面的微觀詳細地形和分析結構特征。該技術的工作原理是使用固定光學系統以高分辨率掃描晶片,從而能夠精確測量高度小於納米的結構。設備中使用的光學元件以專門設計的方式進行配置,以最大限度地提高其檢測大面積小特征和變化的能力。通過這樣做,Atlas可以比同類中的任何其他儀器更準確、快速地測量半導體晶片的復雜模式特征。該機器采用獨特的5軸自動化工具,包括一個獲得專利的「傾斜掃描」模塊,該模塊允許動態傾斜階段運動。這樣可以確保所有晶片表面特征(不論大小或位置)都以更高的精度進行測量。資產還包括一個完全集成的電動采樣級,運動範圍從0°到100°傾斜角度。3維映射功能使NANOMETRICS Atlas能夠一次計算多個地形表面,並為用戶提供對樣品表面狀況的前所未有的洞察。加上高度集成的軟件,Atlas為用戶提供了一個通用的解決方案,可快速準確地生成可靠的數據和寶貴的信息。此外,該模型只需要最低限度的用戶手動調整,即使對於計量知識有限的操作員也很容易使用。NANOMETRICS Atlas是晶圓制造行業質量保證的重要工具,因為它可以快速提供有關樣品表面狀況和特征的準確信息。它獨特的高級光學、自動化采樣階段和高度開發的軟件組合確保了對其提供的數據的無與倫比的信心。
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