二手 NANOMETRICS IVS 185 #9018709 待售
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ID: 9018709
Automatic measurement system, 6" - 8"
Resolution: 1um
90wph
Flat Panel Monitor
Integrated Windows server with hard drive ghost
Rack mounted UPS system
Metro Boost real time analysis Software
150X objective
SECS II package
GEM package
V1.810
PC DOS 7.0
ACV (Accuvision) with Netscape, INXS based
CD and overlay measurements in the same recipe
Performs on copper, CMP, STI, and tungsten plug
Structural metrology algorithms CD-Z, CD-Offset, CD-Step, die matrix placement, and adaptive contact
Adaptive algorithms
Automation with <0.1 degree pre-alignment accuracy.
NANOMETRICS IVS 185是一種晶圓測試和計量設備,幫助工程師開發下一代電子元件。此類系統旨在在高科技設備生產中提供更準確、更可重復的讀數。它允許測量各種設備參數,例如電氣、熱和機械性能。在其標準配置中,IVS 185包含幾個集成的子系統,包括運動控制級、視頻顯微鏡、計量剖面儀和檢查儀器。這包括一個在研究和制造層面上高度敏感和精確的晶圓檢驗和計量單位。運動控制級是通過控制器件在晶圓上的位置和方向提供穩定測量點的參數化機械定位機。視頻顯微鏡配備了高端聚焦和放大能力,用於精細的數據采集,同時支持明場和暗場成像。計量剖面儀是一種專用的超精密儀器,在其制造的各個階段從設備捕獲表面地形和幾何信息。檢查儀器包括CCD攝像頭和先進功能,用於檢測和量化設備中的缺陷,如劃痕、表面汙染和尺寸差異。NANOMETRICS IVS 185還配備了高質量的材料識別能力。這些功能包括光學發射光譜儀和X射線熒光探測器,能夠快速準確地測量化學成分。此外,該工具還提供全面的數據收集和分析,以確保質量,從詳細的過程描述到設備性能參數的圖形顯示。IVS 185是一種多功能晶圓測試和計量資產,用於廣泛的晶圓相關研究和工藝應用。與前幾代晶圓測試系統相比,它具有顯著的優勢,包括最佳的準確性、速度和靈活性。NANOMETRICS IVS 185具有廣泛的可擴展性和集成選項,徹底改變了工程師設計和開發當今最先進的電子元件的方式。
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