二手 NANOMETRICS LYNX #9203178 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 9203178
優質的: 2010
Critical dimension measurement system
EFEM With (2) NANOMETRICS Metro
Missing parts:
Lamp housing
Relay lens
Nano OCD
Loading configuration: (4) Load ports
Power rating: 200 VAC~240 VAC, 1 Phase
2010 vintage.
NANOMETRICS LYNX是為半導體工業設計的晶圓測試和計量設備。它具有易於使用的界面,可容納多達25英寸的基材直徑。該系統配備了高區域覆蓋率、先進的檢測分析、快速的圖像處理、特征分析等多種特點。它利用了最先進的相機技術,並允許全標本和部分標本測量,以適應不同的測試要求。該單元使用先進的算法技術,以高精度測量晶圓的小面積。它支持使用先進的缺陷減少技術,如模式匹配和面積平均。利用確定缺陷類型、數量和位置的算法獲取和分析圖像數據。這使工程師能夠在晶圓產量優化過程中做出明智的決策。除了晶圓檢驗和計量,機器還可以測量薄膜的尺寸和厚度。它使用四通道光譜檢測器以及四偏振偏振器來分析薄膜。這可以讓使用者辨識薄膜中存在的畸形,並進行薄膜厚度的精確測量。該工具可與各種外圍設備集成在一起,以將其能力擴展到材料表征。它可以耦合到X射線衍射/XRD或X射線光電子/XPS資產,用於表面和/或近表面材料分析。它還可以連接到光學/掃描或透射電子顯微鏡/TEM模型,以進一步深入分析材料樣品。最後但並非最不重要的一點是,設備采用模塊化構建塊進行設計,以便根據客戶需求輕松升級和定制系統。因此,該單元具有很高的可擴展性,可以輕松適應不同的產品和過程。總之,LYNX是一種功能強大的晶圓測試和計量機器,能夠對半導體基板進行快速、準確和可靠的測試。它利用先進的圖像處理、分析和測量技術,適用於各種應用。該工具高度可定制,可以根據用戶需求進行定制。
還沒有評論