二手 NANOMETRICS LYNX #9212673 待售

NANOMETRICS LYNX是晶圓測試和計量學界公認的領導者。它結合了最先進的測量技術，以前所未有的速度和準確度進行晶圓級測試和計量任務。該設備對各種晶片材料類型提供實時、高速、無侵入和高精度的計量，主要是矽片和矽/氙片（SiGe）。LYNX系統旨在與光刻設備密切協作,例如通過控制步進器和其他相關工藝設備,提高晶片在大功率半導體設計中的特征尺寸均勻性。利用其高分辨率、高速成像能力,該單元可以在高放大和低放大倍數設置下,快速精確地測量晶片表面上的光刻形狀特征。此外，機器包括一個先進的測量引擎，能夠自動模式識別操作。它使用高度優化的算法來識別晶圓上的關鍵特征，並自動創建真實的位置測量。此過程允許工具以微秒精度提供晶圓級的模具放置精度測量。該資產還包含一個功能強大的控制平臺，使用戶能夠根據用戶偏好輕松配置和修改設置參數。它存儲定制的需求，使模型能夠快速輕松地為要求最苛刻的計量項目設置。NANOMETRICS LYNX硬件由高速、高分辨率成像設備、用於校準單元組件的精確對準系統和步進兼容控制機組成。它與一個軟件套件集成在一起,該套件提供了廣泛的測量功能,如線寬、特征高度和傾斜以及缺陷等級。該軟件還為圖像分割、夾具自動識別和校準以及支持多種語言提供了強大的功能。此外,該軟件還通過提供高級優化工具來釋放工具的全部潛力,從而自動提高檢測器的性能並最大限度地減少來自環境的噪音。該資產采用模塊化設計構建,允許用戶使用其他組件配置模型。這種可擴展性使設備能夠為各種晶圓尺寸和特性提供精確和可重復的測量。總體而言,LYNX系統是業界領先的計量工具,它以前所未有的速度和精度提供高質量的測量,同時與光刻設備無縫集成,用於晶圓級的模具放置精度測量。