二手 NIKON AM-601D #293645645 待售

ID: 293645645
Reticle inspection system.
NIKON AM-601D是一種先進的晶圓測試和計量設備,主要用於測量材料的納米表面地形特性。它由一個多軸集成定位系統、一個包含光學元件的物鏡組件、一個檢測器和必要的電子設備組成,以檢測來自檢測器的信號。此單元能夠獲取x、y和z軸中曲面的高分辨率3D映射圖像。多軸定位機裝有安裝在倒置Y雙級基座結構上的高直立空氣軸承。為了達到較高的精度,采用了最大準直度的空氣軸承,以減少任何可能的誤差。此定位工具可與工件拖拉機或龍門配對,以實現更大範圍的運動。目標組件的構建是為了確保盡可能高的分辨率。這是通過使用NIKON專有的高數值孔徑物鏡與磁屏蔽光學臂集成實現的。這樣可以確保穩定的光學平臺具有高精度,同時保持幹凈且無色散的光路。該探測器是一種堅固、無損的CCD探測器。CCD探測器安裝在溫度和振動向下轉換的環境中,為成像表面提供穩定性。CCD探測器安裝在非常接近物鏡的地方,確保高信噪比。NIKON AM 601D資產是一種非常先進的晶圓測試和計量模型。它旨在提供最高精度、準確性和可重復性,使其非常適合廣泛的納米表面地形測量應用。該設備能夠產生高達2 μ m的高分辨率表面圖像,並具有亞納米可重復性。它提供高達80 μ米/秒的掃描速度,具有快速的測量和較短的掃描時間。該系統適用於金屬、半導體、玻璃和塑料等多種材料。AM-601D是光學計量領域研發應用的理想選擇。
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