二手 NOVA i550 #9356921 待售

NOVA i550是SPTS/Oxford Instruments最先進的晶圓測試和計量產品。該設備專為半導體行業先進的晶圓級測試、檢驗和計量而設計。它為優化晶片的產量和性能提供了一系列工具和能力。該系統配備了一個150毫米交互式多級接口站，提供自動和直觀加載晶片，采用手動或全自動測試策略。它可以容納多達150毫米的基板，並可以選擇在未來使其適應200毫米。該單元根據客戶特定應用程序的要求量身定制,具有一系列測試配置,如射頻探針、溫度和濕度傳感器以及一系列光學探針。它還配備了先進的光學計量工具，如3 D光學相幹顯微鏡（OCM）和光致發光（PL），以及一系列用於先進設備結構的光刻和蝕刻解決方案。這使得晶片的精確缺陷可視化、測量和表征達到亞微米級。I550的其他功能包括一套全面的晶圓測試工具軟件,它可以實現快速的數據采集速率和數據處理,從而能夠快速輕松地識別晶圓上的過程和缺陷相關區域。然後,可以根據需要使用此數據來調整流程。該機還支持自動測試調度和連續運行的直觀界面，使其能夠無縫融入任何生產線。此外,NOVA i 550還提供了先進的計量功能,能夠快速、可靠地分析難以測量的小型結構。結合生產就緒設計、先進的測試和計量工具、直觀的用戶界面和各種各樣的測試參數，使得i550成為先進晶圓制造工藝和半導體研究的理想選擇。