二手 NOVA NovaScan 3060 #293655413 待售

ID: 293655413
CD Measurement system.
NOVA NovaScan 3060是為高端技術節點設計的先進晶圓測試和計量設備。為半導體生產提供全面的晶圓計量和缺陷檢測解決方案。該系統的掃描技術結合了光學性能和穩定性,確保晶圓計量和缺陷檢測操作的最高精度。該單元配備了自適應聚焦機制和增強電流成像(ECI)技術,提供卓越的圖像對比度和分辨率。此外,該機器還提供三種高速掃描技術:標準掃描、突發掃描和滑動掃描模式。NovaScan 3060利用具有長工作距離的光學顯微鏡進行優化以適合任何應用。它還具有集成的晶圓處理工具,可自動處理直徑不超過12英寸的晶圓。該資產還配備了高密度偏振濾波器,以確保高分辨率成像的精確偏振輪廓。NOVA NovaScan 3060能夠在亞微米級捕獲測試結構和缺陷的圖像,並提供探測器的精確定位。它包括一個多光譜、多角度的計量模型和易於使用、可定制的軟件,允許用戶快速獲取成像和計量數據。該設備還具有高達每小時200晶圓的高吞吐量和± 2 μ米的總精度。NovaScan 3060配備了多種圖像增強算法,如銳化、暗場、對比度和色彩飽和度調整工具。此外,系統允許用戶以多種分辨率存儲晶片圖像,以最適合應用程序並檢查晶片,而無需重新掃描。總體而言,NOVA NovaScan 3060是一個先進的晶圓測試和計量設備,它結合了成像功能和直觀的用戶友好軟件,提供卓越的成像性能、準確性和工作效率。
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