二手 NOVA NovaScan 3090 FI SB #9276192 待售

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ID: 9276192
Film measurement system P/N: 390-00000-10 With EBARA CMP Integration metrology critical dimension EBARA REX300 CMP Tool Voltage: 115 V, 230 VAC.
NOVA NovaScan 3090 FI SB是一種晶圓測試和計量設備,設計用於多種工業和科學應用。該系統采用先進的晶圓測試和計量技術,能夠精確測量半導體晶圓上的電氣和物理特性。憑借其高分辨率、高速成像能力,該單元能夠測量各種表面粗糙度、蝕刻率、均勻度、極化、隔離等參數。NovaScan 3090 FI SB允許改進對半導體晶片的分析,包括識別和隔離缺陷區域的能力。它能用其高分辨率、高速成像機進行表面分析,可用於測量一系列電氣、表面和結構特性。此外,該工具還配備了多種功能,以幫助描述特征,包括能夠自動識別材料缺陷和需要進一步調查的區域。資產包括各種軟件支持,以提供模型與其用戶之間的無縫集成。其用戶友好的界面可以方便地導航設備的功能,使操作員能夠快速識別感興趣的區域。軟件還包括多種分析工具,如光學臨界尺寸(OCD)分析、CD-SEM(臨界尺寸掃描電子顯微鏡)剖面、自動二次電子CD-SEM剖面。該系統采用了一系列先進技術,包括自動化數據采集單元和高速成像機。這允許對各種參數進行精確的測量和分析。各種圖像捕捉選項允許工具捕獲分辨率高達10,000像素的圖像,可以提供有關晶圓表面的詳細信息。資產還包括一個離子束模型,以提供對摻雜劑濃度的精確測量,而機器人平臺則允許自動化的樣品加載和測量。總體而言,NOVA NovaScan 3090 FI SB是一款功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量設備,專為各種工業和科學應用而設計。其先進的成像功能、自動化的數據采集系統和一系列軟件支持使其成為識別缺陷區域和測量電氣、表面和結構特性的寶貴工具。
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