二手 NOVA NovaScan 3090 Next SA #9195941 待售

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ID: 9195941
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Critical dimension measurement system, 12" Includes: (3) Load ports Interpretation computer (Mini IPC) kit 2012 vintage.
NOVA NovaScan 3090 Next SA是一種晶圓測試和計量設備,其設計目的是以傳統系統成本的一小部分提供生產級精度。它具有完全集成的軟件/硬件體系結構和用於快速掃描介電膜和有機膜的數字圖像處理器。該系統配備了先進的3級光學單元,以廣泛的晶圓材料實現高精度和可重復性。NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSA是一種多功能機器,可用於光學檢驗、金屬氧化物半導體(MOS)晶體管等動力元件測試、光刻圖樣、化學機械拋光(CMP)等相關晶圓計量任務。它使用數字自動對焦工具、8英寸圖像鏡和可變波長激光照明器,以獲得最佳精度和精度。激光照明器是可調的,以最小的圖像噪聲提供反射率或透射光照。NovaScan 3090 Next SA具有模塊化設計,可針對模具級檢查和薄膜厚度測量等多種計量應用進行定制。它配有單鏡頭儲藏室、60倍電動對焦顯微鏡、35mm數碼成像相機和光譜反射儀。資產可以通過額外的附件進行擴展,如CCD成像模型、光譜儀、計算機極化顯微鏡和可選的多光譜成像設備。NOVASCAN 3090 NEXTSA還具有通過多種操作模式,包括透射式、一維反射式檢查(RI)和非接觸式表面二維(level)檢查,以其對表面非均勻性的高敏感性檢測非均勻性、缺陷和其他材料不均勻性的能力。它與廣泛的基材兼容,包括矽、石英、多晶矽、藍寶石、矽、玻璃、陶瓷。該系統還具有內置的安全功能,包括在停電時自動關閉系統,以及允許操作員校準機器以獲得最佳性能的自校準單元。NOVA NovaScan 3090 Next SA提供了一個全自動的工具,具有用戶友好的界面,能夠更快地測試和測量結果。集成的拾取和放置資產簡化了流程,而完全集成的計算機控制模型允許輕松進行數據分析,而無需額外的硬件或軟件。該設備由6.8安培步進電機提供動力,並通過多種材料和基板提供卓越的精度和可重復性。
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