二手 NOVA NovaScan 3090 Next SA #9233450 待售

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NOVA NovaScan 3090 Next SA
已售出
ID: 9233450
Critical dimension measurement systems BROOKS AUTOMATION 152465 Atmospheric wafer handling robot BROOKS AUTOMATION 109752-452 FabExpress BROOKS AUTOMATION 146847 Robot controller BROOKS AUTOMATION 002-8761-01.
NOVA NovaScan 3090 Next SA是一款功能強大的晶圓測試和計量工具,專為下一代半導體晶圓制造的苛刻工藝控制要求而設計。設備配備了功能齊全的軟件平臺,提供卓越的精度和可重復性,確保從晶圓開始到晶圓完成的過程控制一致。NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSA使用功能強大的激光掃描儀進行自上而下和自下而上的檢查。這有助於以最短的時間和最低的成本輸入快速識別晶圓上的潛在缺陷。這種基於激光的檢測確保在檢查過程中可以檢測到甚至更小的缺陷顆粒,這有助於減少與潛在晶圓制造缺陷相關的屈服損失。NovaScan 3090 Next SA還支持掃描各種不同的晶圓大小和形狀,包括200 mm、300 mm、500 mm和更大。系統可以編程為自動檢測晶圓大小和形狀,然後掃描表面積或感興趣的區域。這有助於確保徹底檢查晶片的所有區域是否存在潛在缺陷。NOVASCAN 3090 NEXTSA使用的軟件平臺支持廣泛的計量應用,包括缺陷和汙染檢測、缺陷嚴重程度分級、線寬測量、叠加測量和臨界尺寸(CD)測量。該軟件能夠收集、分析和存儲來自多個晶圓檢驗運行的數據,以保證質量。NOVA NovaScan 3090 Next SA還可以配備為精確CD測量而設計的高精度光學顯微鏡。這有助於確保設備能夠以極高的精度測量到亞微米級別的特性。在物理設計方面,NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSA也是緊湊、高效和符合人體工程學的。該單元占用的地板空間極小,設計得盡可能人性化,使操作員能夠快速準確地執行各種測試和計量任務。總體而言,NovaScan 3090 Next SA是一種先進的晶圓測試和計量設備,可提供可靠的過程控制,幫助確保生產質量最高的半導體產品。該設備提供強大的激光掃描功能、通用的軟件平臺以及用於CD測量的高精度光學顯微鏡,使其能夠精確檢測甚至最小的潛在缺陷。機器的人體工程學設計和高效的平面圖還有助於在晶圓檢測過程中最大限度地提高生產率。
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