二手 NOVA NovaScan 3090 #293823988 待售

ID: 293823988
Film measurement system.
NOVA NovaScan 3090是NOVA科技公司的晶圓測試和計量設備。該系統設計用於在MEMS和光子晶片的測試中提供精確的測量。它采用自對準光學幹涉剖面儀,提供高達0.1 nm的高功率分辨率。NovaScan 3090有一個大型的自動化晶片級,帶有兩個螺絲式測試裝載機,使其能夠處理各種測試晶片尺寸的單極和多極配置。該單元可容納200 µm至5 mm的晶片厚度,最大晶片直徑300 mm。舞臺有360度旋轉,允許從任何角度精確測量測試樣品。NOVA NovaScan 3090還內置了RGB激光幹涉測量機,將激光幹涉測量的精度與CCD成像的保真度相結合。這樣可以從各種不同角度捕獲各種材料中的精確圖像。該工具可以捕獲步高的亞納米差異,以及表面紋理、地形和微觀特征。此外,NovaScan 3090擁有一個集成的數字顯微鏡,它獲取晶圓精確區域和特征的專門圖像。此功能允許精確測量晶圓上的距離以及3D中的納米尺度特征。顯微鏡還配備了用於銳化和縫合圖像的先進軟件,以獲得最佳分辨率、細節和準確性。NOVA NovaScan 3090還包括幾項軟件功能,可實現自動化操作和增強使用。該資產配備了實時顯微鏡,可以通過快速反饋進行實時分析和決策,而動態視覺檢查功能則可以快速、準確和自動化地確認高分辨率圖像。該軟件還可以自動檢測和報告材料晶片中的任何異常,使其成為一個成本效益高且可靠的計量模型。
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