二手 NOVA NovaScan 420 #9077702 待售

ID: 9077702
Measurement System.
NOVA NovaScan 420是一個用於測試和分析半導體晶圓的計量系統。利用先進的光學幹涉儀,獲得了無與倫比的重復性和準確性的高精度測量。NovaScan 420有兩個不同的部件-光學幹涉儀模塊和專用對準站。光學幹涉儀模塊包括光電元件平臺、光路框架、照明工具、自動減法和光學輪廓儀元件。對齊站是晶片安裝和測量的地方。該站還用於校準系統,並在高精度範圍內保持對準精度。NOVA NovaScan 420的光學幹涉儀與晶圓映射的精確自動化級集成在一起,允許用戶快速準確地測量任何晶圓表面的地形。它還包括一套軟件工具,允許用戶進行各種測量,包括表面粗糙度、磁盤深度、導槽、拐角結構和步高。此外,NovaScan 420包含軟件控制的顯微鏡和圖像分析工具,用於電子故障分析。這使用戶能夠快速準確地查找和表征產量和陣列參與者,或識別晶圓表面上的缺陷區域。集成到NOVA NovaScan 420中的一整套測量工具提供了精確的計量功能,用於監控各種產品的性能,從有源元件到玻璃基板。它支持各種晶圓尺寸(最大12英寸),最多可容納24個晶圓載流子。總而言之,NovaScan 420是一種先進的晶圓測試和計量解決方案,可用於多種應用。光學幹涉儀和自動級可以快速、準確地進行高精度測量,而圖像分析功能可以訪問有價值的半導體信息。所有這些功能使NOVA NovaScan 420成為當今現代半導體行業的理想解決方案。
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