二手 NOVA V2600 #9397357 待售

NOVA V2600是一種高端晶圓測試和計量設備，設計用於先進的半導體制造和制造分布線路。它能夠執行掃描電氣測試、光學測試、缺陷掩蔽和檢查、模具剪切和封裝拉力測試以及光學和粒子表征等所有類型的測試和計量任務。該系統由兩個模塊組成-光學和電氣測試站（Otical and Electrical Test Station, OETS）和計量站（MS）。OETS由一個模塊化的光學和電氣測試站組成，它使用自動機械臂進行晶圓級測試操作。該單元同時支持2D和3D計量和電氣測量，可用於快速準確地測量摻雜劑濃度、缺陷和雜質密度、器件產量以及其他關鍵工藝相關參數等參數。計量站設有掃描電子顯微鏡（SEMs）、原子力顯微鏡（AFMs）、共聚焦激光顯微鏡（CLMs）等一系列計量和成像儀器。它還包含了傅立葉變換紅外光譜儀（FTIRs）、X射線光電子光譜儀（XPSs）、拉曼光譜儀等多種光譜儀器。這些儀器用於測量晶圓級計量和成像參數，包括蝕刻深度、密度、地形、界面角度、表面粗糙度和其他關鍵過程變量。V2600包括一系列自動功能,例如自動數據采集和分析,使用戶能夠快速準確地分析數據。該機器能夠與其他軟件（如Statistical Process Control （SPC）軟件包和其他計算機輔助設計和制造（CAD/CAM）軟件）集成。通過其先進的數據分析和報告能力，它為流程改進和優化提供了先進的決策支持。在安全性方面，該工具設計符合半導體行業的安全標準，多層安全檢測包括附加聯鎖和經過驗證的內置安全功能。這些功能確保資產在危險環境下不會被激活，並且可以在生產環境中安全操作。總體而言,NOVA V2600是一種功能強大且可靠的晶圓測試和計量模型,它為先進的半導體制造提供了全面的解決方案。它的高級系統和功能使用戶能夠快速準確地分析數據、識別缺陷、優化流程和提高質量。此外，它的安全特性確保它能夠以安全和有效的方式使用。