二手 NOVASCAN 210 #9224124 待售

NOVASCAN 210是一種先進的晶圓測試和計量設備，設計用於晶圓樣品的高精度表面分析、缺陷檢測和尺寸測量。本文介紹了激光掃描顯微鏡（LSM）、光子掃描顯微鏡（PSM）、電子束顯微鏡（EBM）和原子力顯微鏡（AFM）等各種傳感器的特點。該系統還包含自動缺陷檢測（ADD）軟件,能夠深入描述小缺陷和均勻性測量。具有能量色散X射線（EDX）能力，210可以測量元素組成，對材料中的缺陷或雜質進行化學鑒定。該單元以光學平臺為基礎，配有大面積數碼相機、靈敏光學器件和電動龍門安裝機。能夠對大型晶片和樣品進行超高分辨率成像，NOVASCAN 210還具有集成的樣品定位階段，可以快速準確地調整樣品的位置。該機的部件少，工作面積大，對準速度快，現場平整技術都使其成為生產支持的理想選擇。軟件包還包括高速掃描和可視化、基本模式識別和高級比較工具。總體而言,210是廣泛的晶圓測試和計量應用的理想解決方案,旨在以快速且易於使用的封裝提供可靠和準確的測量。它非常適合各種工藝和應用，包括故障分析、工藝監控、晶圓光刻、參數測試、質量控制等。