二手 NOVASCAN 210 #9284368 待售

NOVASCAN 210是一種晶圓測試和計量設備，設計用於晶圓級測試和檢查集成電路。該系統利用聚焦離子束槍繪制每個晶片表面的地形，以確定各個元件的電氣和物理特性。該單元由高真空室、計算機機器、離子源、一組透鏡、成像工具和光束偏轉器組成。真空室采用優質不銹鋼制成，旨在為內部結構和部件提供真空環境。計算機資產控制來自儀器的所有組件和記錄數據。離子源中含有一個或多個帶電粒子，如氙氣、氙氣或氦氣，它們被透鏡聚焦並通過光束偏轉器定向。成像模型記錄晶片上元件的大小和位置，並使用得到的信息來確定晶片上元件的電氣和物理特性。該設備有多種應用，包括缺陷部件的識別和定位、故障分析、缺陷分析等。還可用於識別短路路徑，診斷和校正柵極氧化物故障，測量介電常數，測量耗盡層和通道電流泄漏。該系統還可用於評估工藝對晶片或元件的影響，如熱應力和電應力、介電隔離和靜電感應電荷。該單元適用於各種晶片和組件，如GaAs、矽、SiGe和SOI。該機可用於以納米精度測量元件的納米級特征和表面地形，從而實現高度控制。該工具還能夠以高精度測量範圍廣泛的電氣參數，如閾值電壓、接入和開啟電壓，以及亞微米柵極長度。210是先進的晶圓測試和計量資產,為用戶提供了廣泛的功能和應用。它是測試和檢查集成電路的理想工具,為確定單個組件的電氣和物理特性提供了可靠和準確的方法。