二手 NOVASCAN 420 #117521 待售
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NOVASCAN 420是一種晶圓測試和計量設備,旨在提供高精度的測量、分析和實時的過程性能。它是衡量和維護關鍵工藝參數的最有力工具。420配備了多種測試方法,允許準確、及時地檢測參數缺陷和其他不規則性,以確保過程優化。該系統由高速激光掃描平臺、CCD攝像頭、高分辨率光學成像單元、一系列嵌入式濾波器和各種測試算法組成。激光掃描平臺具有高精度矢量驅動器,使機器能夠精確測量每個晶片的超薄輪廓和曲線。CCD相機捕獲每個晶片的實時圖像,提供全角度可見性,而無需重新定位相機。光學成像工具以納米精度提供精確的3D測量,甚至可以精確分析最小的表面特征。嵌入式濾光片提供多波長的光,允許分析各種不同光學性質的材料。NOVASCAN 420的測試算法旨在檢測晶圓標稱特性的任何可測量的差異。這些算法將實際測量值與一組預先確定的值進行比較,從而提供有關流程性能的實時反饋。還啟用了多設備參數監控和全面模式識別等高級解決方案。該資產還與現有自動化平臺輕松集成,以便於集成。總體而言,420是一款功能強大的晶圓測試和計量模型,具有精確的激光掃描、全角度CCD攝像頭、高分辨率成像設備和各種測試算法,為用戶提供了確保過程優化的精確工具。
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