二手 NOVASCAN 840 #9229187 待售
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NOVASCAN 840是一種高科技晶圓測試和計量設備,為晶圓測試提供全方位的能力。該系統提供高級計量功能,包括3 D缺陷檢測、粒子分析、CMP(化學機械平面化)研究和缺陷評估。840配備數碼攝像機和幾種光源,非常適合串聯晶圓檢測。它結合了獨特的X、Y、Z級機芯,能夠快速準確地掃描晶片。該單元使用最先進的算法來精確地比較晶圓不同部分的形狀和大小。NOVASCAN 840也有能力進行缺陷分析。它分析了晶片上可能存在的汙染物、劃痕和蝕刻圖樣不規則等缺陷。這一過程可以改進產量控制,並確定需要更多註意的領域。此外,840能夠進行晶圓級計量。該機可測量薄於1微米特征、線寬變化、高分辨率輪廓等參數。它還能夠檢測到不規則的表面和/或過大的厚度變化。NOVASCAN 840還提供了幾種類型的視覺反饋。它的圖形用戶界面提供了一系列查看和分析工具收集的數據的方法。這包括功能映射以及分屏顯示模式。840是為滿足半導體行業需求而設計的獨特產品。特別是它能夠精確檢測只有3.7 µm大小的粒子。此外,資產的靈敏度足以檢測到偏離設計的晶圓地形,只有0.2 µm高。總體而言,NOVASCAN 840是一種功能強大且用途廣泛的晶圓測試工具,可用於保持制造過程平穩運行。也可用於發現和分析缺陷,以防止產量損失。憑借先進的計量能力,可以精確測量和可視化各種晶圓零件的形狀和尺寸。
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