二手 OAI 311 #9169990 待售

OAI 311是半導體制造商使用的晶圓測試和計量設備。它提供了一套全面的晶圓計量能力，包括監測粒度和組成、缺陷映射、光學檢查、汙染分析和臨界維度（CD）測量。該系統采用能量色散光譜（EDS），能夠分析樣品的化學成分和粒度。它使用了一種新型的X射線探測器來測量粒子的大小和形狀到納米尺度的分辨率。此外，該單元能夠檢測、隔離和分析晶片表面的各種可能缺陷，如微裂紋、微粒和預先存在的缺陷。除了EDS之外，機器還利用掃描電子顯微鏡（SEM）為用戶提供晶圓表面特征的可視化，包括布線路徑、線寬、陸地拓撲和缺陷位置。SEM還通過電子束穿過樣品，允許檢測汙染物、帶電粒子和其他納米級元素。這些功能得到光學檢查工具的補充,該工具捕獲晶圓表面的圖像並對其進行處理以進行精確測量。資產還包括測量計量功能,它使用戶能夠以納米級精度測量晶圓的關鍵尺寸,如柵極寬度、接觸深度和摻雜輪廓。這種詳細的分析可以更好地控制晶片加工質量,為客戶提供可靠的可靠性和質量保證。綜上所述,311提供了一套先進的技術功能,能夠以納米級分辨率分析顆粒組成和臨界尺寸測量。其缺陷分析和計量能力使客戶對晶圓加工產量的準確性和可靠性充滿信心。