二手 OHKURA DP2301 #9134043 待售
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OHRKURA OHKURA DP2301晶圓測試和計量設備是一個高性能的自動化平臺,設計用於檢查和測試集成電路,允許精確到納米(nm)大小。它建立在立體測量掃描儀的基礎上,該掃描儀捕獲和分析2D圖像以創建IC晶片的3D曲面模型。嵌入式算法利用這些圖像創建用於測試的詳細映射,然後系統將其用於特征檢測。DP2301具有高分辨率攝像頭,具有自動對焦功能,能夠進行更精確的檢查。光電測量單元允許進行高精度測量,以提高精確度和比手動測量技術更快的操作速度。該機進一步采用計算機控制的晶圓表進行優化移動和控制。精密級設計為晶圓對準提供了納米範圍內的精度,可集成用於雙面晶圓測試。OHKURA DP2301還配備了一個用戶友好的軟件界面,用於完全參數控制、數據導入和導出功能以及數據存儲。DP2301利用獨特的方法進行晶圓對準和檢測。該工具依賴於邊緣檢測算法來確定對齊方式,並生成用於特征檢測的Z軸高度映射。高度圖使用灰度值來確定IC的位置和排列。它進一步利用高度圖作為特征檢測算法的輸入來隔離和檢測缺陷。OHKURA DP 2301的成像資產進一步實現了全面的IC技術測試,為各種測試功能和計量要求提供支持。其測試能力包括電容、電阻率、可靠性和驅動電流/電阻測量。它還允許在晶片兩側進行多站點測試,以支持IC的所有3D計量要求。OHRKURA DP2301是確保生產精確度和集成電路制造一致性的重要工具。它的高級功能允許對完整的晶圓規格進行詳細的分析和測試,從而實現高度可靠的生產環境。
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