二手 ORC MEM-5926 #9017907 待售

ORC MEM-5926
ID: 9017907
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 1995
Bump height measurement system, 6"-8" 1995 vintage.
ORC MEM-5926是一種經過測試的計量設備,其設計目的是利用多束激光掃描來精確測量薄膜設備。該系統可以使用多種復雜的金屬和介電材料,包括薄膜多層光學塗層。該單元基於雙光束幹涉測量技術,對衍射光柵、薄膜反射器、分束器、偏振器、防反射塗層等薄膜光學器件進行精確、可重復的測量。機器由光源、掃描單元和電子控制器組成。光源是一種雙波長二極管激光器,為薄膜器件提供高度精確和可重復的測量。掃描單元包含兩組鏡像和一個旋轉磁盤。該磁盤用於掃描和測量具有兩個獨立激光束的薄膜設備。然後用CCD攝像機記錄每種激光器的反射,並使用基於軟件的圖像處理算法進行分析。該控制器對激光源和鏡面/磁盤掃描提供準確可靠的控制。它可以在不同靈敏度水平的多種模式下運行,並且可以在二維和三維掃描機制中工作。控制器還可以使用其集成圖像采集程序捕獲薄膜設備的圖像。該工具能夠測量精確度± 0.05 nm的薄膜光學元件。它還提供了廣泛的工作溫度範圍,從0°C到55°C,可以承受高達200克/加速度的物理沖擊。這些功能使MEM-5926成為各種薄膜設備測試和計量應用程序的通用、高性能和經濟高效的選項。
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