二手 PHOSEON MX1002 #9226706 待售

PHOSEON MX1002是為半導體工業制造的高端晶圓測試和計量設備。它設計用於測量晶片、矽芯片或其他材料等基材的性能。該系統有一個先進的光學計量頭，使用激光幹涉測量和光學剖面圖對基板進行高分辨率成像。它執行諸如大面積的層間計量、薄膜厚度測量以及高放大倍率的缺陷檢測等測試。該單元采用7軸運動學設計,允許X軸和Y軸的行程達到2000mm。這允許一個大的測量區域。光學頭還提供最大放大倍數為250倍的可變焦距，以及可調激光功率高達40mW倍。光學機器本身是使用高精度對準元件進行校準和構造的。MX1002還配備了最先進的傳感器套件,其中包括用於距離測量的數字線性編碼器、用於圖像分析的64通道電容傳感器和溫度補償電容傳感器。此傳感器套件提供從表面粗糙度到深度輪廓的廣泛測量。PHOSEON MX1002還使用了一個功能強大的軟件套件，用於分析從傳感器收集的數據。該軟件包括高級統計分析功能以及用於數據後處理的強大工具。該軟件還包括一個掃描記錄器功能，它可以將數據保存速度比標準速率快20倍。MX1002是一個強大的工具，旨在滿足半導體行業的需求。憑借其高精度的光學、復雜的傳感器套件和強大的軟件，它可以被用於精確、快速地測量各種基板。