二手 RUDOLPH / AUGUST 3DI 8000 #293761475 待售

RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000是一種高度先進的晶圓測試和計量設備。在晶圓上半導體器件幾何特性的測量中，可以提供最佳的精度和精度。它提供光學顯微鏡和半導體器件特性的幹涉測量。該系統將專門設計的3軸幹涉顯微鏡與精密級相結合，創建晶圓測量的成像單元。顯微鏡由一個底座組成，底座包含兩個交叉軸幹涉儀，可以測量兩個橫向位移和一個正交位移。顯微鏡還具有準直光束，用於高精度測量垂直尺寸或深度。此外，該機還包括一個精密級，可以高精度掃描大晶圓區域。AUGUST 3DI 8000是一個強大的工具，設計為高度不敏感振動。這一資產提供了高達1.5納米的增強分辨率和高達0.2納米的可重復性。該模型能夠快速準確地測量晶圓級半導體結構的三維信息。RUDOLPH 3DI 8000包括高級圖像分析軟件,為用戶提供結果的全面圖形顯示。該軟件還可用於分析已用設備捕獲的數據，並將獲取的圖像與參考圖像進行比較。這種圖像處理軟件允許可視化獲取的數據，以及進一步的數據分析。3DI 8000提供高吞吐量測量和廣泛的測量功能。是專業研發工作的理想選擇。它也非常適合用於生產測試和質量控制應用。該系統是分析新開發半導體材料性能和可靠性的理想選擇。