二手 RUDOLPH / AUGUST 3DI 8000 #9206004 待售
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RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000是一種全自動晶圓測試和計量設備,旨在提供卓越的分析和測試數據。它能夠測量各種參數，包括應力、應變、電性能以及材料特性的其他方面。利用各種數據采集技術，可以測量各種半導體材料和結構的物理、機械、熱和電氣性能。AUGUST 3DI 8000配備了高精度激光幹涉儀系統，使其能夠精確測量和表征3個軸中晶圓的表面輪廓，分辨率高達0.1納米。該單元還配備了一臺帶有C-MOS傳感器的高分辨率XYRIS 4級計量機，在所有三個軸上提供了完整的視野，能夠測量各種特征，如線寬、周期性和缺陷/空隙，分辨率為0.1微米。該工具還能夠利用準直激光束資產進行應力和應變測量，其中激光激發樣品的光學效應，以檢測應力和應變引起的變形。該模型還提供電容、電感、電阻等各種電氣特性的非接觸測量。RUDOLPH 3DI 8000還提供了用於管理自動例程的強大圖形用戶界面。用戶定義的模板允許用戶使用預定的晶圓和樣本特性快速修改參數。憑借其高速數據采集、圖像采集和處理以及先進的計量能力，3DI 8000能夠快速分析和檢測晶圓上的缺陷和其他缺陷。RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000是一種緊湊、自給自足的設備,能夠對具有業界領先精度的最先進的半導體材料進行全面測試。其先進的非接觸式測試和自動化程序使其成為半導體材料領域的研究人員和工程師的理想選擇,因為它提供了一種快速可靠的方法來分析和測量各種材料的性能。
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