二手 RUDOLPH / AUGUST S3000SX #9305282 待售

ID: 9305282
Thin film measurement system, 12" 2011 vintage.
RUDOLPH/AUGUST S3000SX是一種晶圓測試和計量設備,提供先進的晶圓計量能力。它旨在提供對300毫米晶圓的精確測量。它具有集成的晶片級和自動真空密封系統,以改進晶片的處理和定位。AUGUST S3000SX配備了具有自動光束對準和實時成像的高精度激光裝置,用於精確和可重復的測量。該機采用先進的光電測量技術,具有更高的分辨率和精度,同時實現了經濟高效的吞吐量。它配備了多個光學子系統、激光二極管,以及高速測量和更大靈活性的高數值孔徑。RUDOLPH S3000SX能夠執行各種測量,包括線寬、步長、懸垂和缺陷剖面。該工具允許同時獲取兩個檢查參數。先進的光電測量以低噪聲水平和高分辨率進行。它還提供了從低至20 nm分辨率檢測晶片上的小故障的能力。S3000SX還提供各種專業產品,以滿足各種檢查和測量需要。可為各種測試和計量目的定制資產。除了標準晶片測試和分析過程外,該單元還提供邊緣檢測、角檢測、圖像分析等專門產品,使用戶能夠獲取有關晶片表面的詳細信息。該模型還帶有CCD攝像機,用於晶圓特征的檢查和測量。這些相機具有高分辨率,能夠以高清細節捕捉信息。該單元還配備了大視野(LFOV)和高級焦點控制(AFC),用於快速準確的測量。RUDOLPH/AUGUST S3000SX還配備了一個校準器,用於快速準確地為每個晶圓設置設備。該系統還能夠存儲掃描結果以進行分析,並存儲大量數據以進行質量保證監控。總體而言,AUGUST S3000SX是一個高度先進的晶圓測試和計量單元,提供精確的測量、高速測量和強大的光電功能。該工具具有定制機器和執行專門測量的能力,非常適合那些尋求精確、高效和經濟高效的晶圓測試和計量功能的用戶。
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