二手 RUDOLPH MetaPulse 200 #293766451 待售
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RUDOLPH MetaPulse 200晶圓測試和計量設備是專門為半導體晶圓和其他相關基板的測試和計量應用而設計的自動化系統。該單元提供高分辨率成像和舞臺掃描機,用於測試和分析人造結構。它能夠掃描模具的兩側,使其適合各種應用,包括模具級計量過程和缺陷審查。該工具結合直接成像技術使用高分辨率光學器件,使用戶能夠對半導體或其他基板進行頂部和底部的高分辨率成像。圖像可以以高達25 nm的分辨率創建,並且資產具有各種可調整的參數,具體取決於特定的應用程序。該模型還具有自動階段掃描設備,用戶可以在單個位置掃描整個模具區域或多個模具。這種掃描系統允許在短時間內對大面積進行高精度、高速的審查。該單元配備了多種數據采集硬件和軟件,允許用戶分析比較多項測試的結果。機器還附帶了幾個分析套件,允許用戶分析模具級和缺陷相關參數,如臨界尺寸(CD)測量、邊緣閾值測量、粒度測量、統計分析等等。RUDOLPH META PULSE 200還提供了多種界面選項,使用戶可以輕松連接到外部系統和數據庫。該工具與各種計算機和操作系統兼容,從而可以與幾乎所有現有的基礎架構兼容。該資產還支持各種自動化數據導入/導出格式,使其易於存儲、分析和與其他用戶共享結果。總體而言,MetaPulse 200晶圓測試和計量模型是一個完整的設備,旨在提供快速、準確和可靠的數據測試。除了自動化的階段掃描技術外,系統還提供了多種高級數據分析選項,使用戶能夠在各種應用程序中快速查看結果並實現準確的過程控制。
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