二手 RUDOLPH MetaPulse 200 #293813130 待售
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RUDOLPH MetaPulse 200是由RUDOLPH Technologies設計的晶圓測試和計量設備,用於提高半導體和電子元件測試的吞吐量和精度。該系統采用高速掃描頭,用於在包括矽芯片和其他半導體材料在內的各種基板上進行測試。它還具有高級計量功能,包括成像、臨界尺寸(CD)測量和缺陷檢測。RUDOLPH META PULSE 200利用極精確的光束轉向子系統,以高速度、高精度精確測量納米級特征和缺陷。這是通過將光束通過獨特的自適應光學單元對準基板,然後通過彎曲反射鏡和透鏡控制光束聚焦或影響區域來實現的。此外,機器的自適應光學工具允許它自動補償溫度、濕度和其他可能影響光束的變量的變化。資產還包括一些專門的探頭,每個探頭都為半自動晶圓探頭或手動測試定制。這些探頭設計用於確保準確、可靠的結果,即使在具有挑戰性的環境中也是如此。300毫米雙頭探頭利用壓電級探測到納米精度以內。200毫米單頭探頭以高度精確的發散/凸光路徑進一步提高精度,是測量非平面晶片的理想選擇。RUDOLPH嵌入式缺陷檢測算法與低噪聲CCD攝像機耦合,提供了以高掃描速度快速檢測最復雜地形缺陷的能力。高清OLED觸摸屏界面提供檢測過程的實時可視化,並允許定制型號以滿足特定的應用需求。MetaPulse 200還符合業界最嚴格的安全要求,提供多種級別的用戶身份驗證和加密,以及許多安全功能。它還包括各種診斷功能和錯誤跟蹤,以確保操作可靠性。該設備具有直觀的用戶界面和全面的遠程管理功能,可輕松集成到現有網絡中。總體而言,META PULSE 200將先進的計量能力與無與倫比的速度和精度相結合,使其成為現代半導體制造設施理想的晶圓測試和計量系統。
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