二手 RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu #293665001 待售

RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu是一種適用於商用半導體器件生產的高精度、無損晶圓測試和計量設備。它對於大的晶片尺寸具有極好的精度，具有大的視場和高達16位動態範圍的高分辨率圖像傳感器。此外,它還能夠測量表征設備性能的電氣參數,如片狀電阻和接觸電阻等。該系統包括一個1000毫米寬的圖像卷軸、兩個光源、精確的線性級控制和一個復雜的光學單元。它采用優質鋼制成，具有耐用性和溫度穩定性，即使在各種具有挑戰性的測量環境中也能可靠收集數據。RUDOLPH METAPULSE 200XCU的高精度光學成像能力是為建立基於設備布局的電氣表征模型而設計的。這種能力使得能夠進行無損微觀檢查，例如表征半導體器件結構中的微空隙、計算氧化物厚度以及評估器件的各向異性效應。成像質量允許對不同的設備結構進行高分辨率檢查和分析，以進行過程控制和提高產量。METAPULSE 200X CU的數據收集能力可以配置為測量參數，如晶圓圖、電容器、接觸/通過和平面預測/趨勢。它采用集成索引機設計，在長時間的連續測量會話中實現可重復性並保持數據精度。此外,為了表征動態設備性能,METAPULSE 200 X CU可以通過頻率調諧收集數據,並表征從0Hz到10MHz的一系列交流/直流偏置激發的設備配置文件。對於數據精度，該工具還支持與許多電氣探針同時測量，以捕捉寄生效應，如接觸電阻。它還旨在減少接觸彈跳產生的測量噪聲和數據誤差,並縮短沈降時間。RUDOLPH METAPULSE 200 X CU也很容易升級，並提供高數據吞吐量的高效生產跟蹤。直觀的用戶界面可輕松配置復雜的測量設置和自動測量,並且可以輕松地將收集的數據可視化以進行分析。總體而言，METAPULSE 200XCU具有高精度和數據評估能力，是商用半導體器件生產的絕佳選擇。